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需要说明的是,这种修正方法跟一些利用人工智能来填补图片细节的算法不一样。人工智能填补可以算是一种“脑补”,而这种函数修正是“还原”。
“光刻机有光源、物镜、对准系统三大核心,而透镜技术的突破将会是光刻技术的再一次技术迭代。
这也就意味着光刻机技术将迎来新的赛道,而我们在新一代光刻机的前置技术上,已经没有了短板。”
周思毅最后介绍说,超透镜对于光刻技术有着极大的推进作用。
超透镜说白了和相控阵雷达很相似,都是由无数个小单元组成,经计算机处理合成成像,原理都差不多。
国内有一流的相控阵雷达(如相控阵雷达、航母四面阵雷达),也将有一流的超透镜。
有了技术成熟的超透镜,国内就可以实现从第二代DUV光刻机向第四代超透镜光刻机的技术跨越。
“周院长,恭喜你们!你们这个项目取得了重大突破,是非常有意义的一件事情。
之前在EUV光刻机的研发过程中,物镜系统就是最大的拦路虎。尽管光机所已经完成了这个子项的研发,但进度也延迟了太长的时间,使得总体项目最起码拖后了两三年。”
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