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“所以,我们在这里的分析毫无意义。我们分析来讨论去,得出的结论就是没人能够做到。”库格尔接着说道:“那我们还在这儿讨论什么?”
“库格尔博士说的对,我们现在的讨论根本就没有任何的意义。”一名貌似是阿斯麦的高层领导的人说道:
“我们再怎么讨论,也是基于我们的经验和认知在讨论,我们再怎么评估,那也是基于我们的技术水准在评估。
是的,按照我们的经验和技术做不到。但,这并不代表按照别人的技术和经验也做不到。
当年,台积电林本坚总经理提出了沉浸式改变光源波长制造光刻机的理念,那个时候也是被各大光刻机厂商嗤之以鼻,认为光源虽然在水里波长变短了,但同时带来的问题比收益更大。
只有我们阿斯麦接受了,并最终成功制造了沉浸式光刻机。事实证明,这是一条正确的技术路线,我们接受了,从而赢得了后来居上的机会。
在EUV的研发中,当年的我们更是眼光独到,显示出了惊人的前瞻能力,以承诺在某国出资建立工厂和研发中心,并保证55%的原材料都从某国采购的代价,加入了英特尔和某国官方成立的极紫外线有限责任公司(EUVLLC)的组织。
也正是在这个组织内的探索和研究,才得以有今天我们的EUV光刻机。
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